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产业化企业-高品质碳化硅晶体及衬底片制备工艺技术及长晶装备

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中科鋼研先後開發了高品質、大規格藍寶石晶體製備工藝技術及長晶裝備;高品質碳化硅晶體及襯底片製備工藝技術及長晶裝備;廢輪胎再生循環利用工藝技術及生產線;新型金剛石符合材料及成套生產裝置;石墨烯碳納米電熱膜生產工藝技術及生產線等多項達到國際一流技術水平。上述多項技術填補了國內行業空白。

中科鋼研是由國務院國資委於2016年批複成立的新型央企控股混合所有制企業,其中,中國鋼研科技集團有限公司通過其全資子公司新冶集團持股40%為公司第一大股東實現相對控股,弘睿天藍作為公司管理與技術團隊的持股平台占股25%,外部戰略投資者國宏華業占股35%。是以新材料、節能環保、新能源等領域應用技術及相關產品的研發、產業化、市場推廣為主的科技創新型企業,於2018年入選國務院國資委國企改革「雙百企業」。

2017年2月,中科鋼研「碳化硅重點實驗室」獲評為「第三代半導體材料製備關鍵共性技術北京市工程實驗室」,並於2018年先後被選舉為「第三代半導體產業技術創新戰略聯盟」第一屆副理事長單位,「中關村天合寬禁帶半導體技術創新聯盟」副理事長單位。

中科鋼研方面表示,力爭用3到5年時間,將中科鋼研與其戰略合作夥伴聯合創設的國宏中宇科技發展有限公司(下稱「國宏中宇」)建設成以上海總部基地為核心,擁有國內外多個碳化硅晶體材料、碳化硅微粉、碳化硅電子電力芯片生產基地,產品銷售與服務中心的,國內科研水平最高、產業規模最大、上下游產業鏈較為完整、產業示範引領作用最大的,以碳化硅半導體材料為代表,聚集第三代半導體材料及其應用技術與產品的高新技術企業集團。

據中科鋼研方面向澎湃新聞介紹,此次簽約的先進晶體產業化項目,系中科鋼研與國宏華業在引進日本升華法(PVT),高溫化學氣相沉積法(HTCVD)及俄羅斯電阻加熱升華法等國際一流碳化硅長晶工藝技術與裝備的基礎上,通過三年來的技術消化吸收再創新,通過工藝建模、數值模擬、設備集成、工藝試驗等方面的系統性工作,在碳化硅長晶專用裝備、碳化硅高純度原料合成、碳化硅單晶生長及襯底片加工工藝方面取得了較大進展,形成了具有自主知識產權的以碳化硅單晶生長核心工藝技術為代表的完整工藝技術體系。

9月5日,國務院國資委與上海市政府在滬簽署深化合作共同推進落實國家戰略合作框架協議,一批中央企業在滬重大項目集中籤約。其中,簽約項目包括中科鋼研節能科技有限公司(下稱「中科鋼研」)的中科鋼研先進晶體產業化項目。

該工藝技術體系,覆蓋了碳化硅晶體與襯底片生產的全工藝環節,保證了碳化硅襯底片產品技術指標、質量穩定性和成本可控性有很大的突出優勢。

中科鋼研方面表示,國宏中宇總部基地落戶上海后將緊隨上海轉型升級發展的戰略步伐,乘上上海市高速發展的快車。

中科鋼研稱,近半年來,中科鋼研與上海市寶山區多次深入溝通與對接,各方已經就碳化硅產業化項目總部基地、科研基地、產業園區及產業基金落戶上海市寶山區達成廣泛的一致意見,並簽署合作框架協議。各方將共同努力,集合科技、人才、市場、金融、政策等多方優勢資源,賦能第三代半導體材料及其應用技術的科技研發、科研成果產業化轉化、高科技產品的多場景商業化應用等整個行業發展鏈條。

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